[发明专利]外延设备在审
| 申请号： | 201610278856.4 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN107326433A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 季文明;林志鑫;刘源;保罗·邦凡蒂 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 金华 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种外延设备，包括反应腔体、位于反应腔体上部的盖板以及位于反应腔体下部的托盘，通过冷却水进出口在空心中通入冷却水，用于在生长外延层的过程中降低整个反应腔室的温度，防止外延设备各部件长时间承受高温，从而能够一次生长相对较厚的外延层，并且不影响外延设备的性能及机台产能；使用射频加热线圈代替现有技术中的加热灯管，并将射频加热线圈设置为空心，在其中通入冷却水，以防止射频加热线圈的温度过高；将腔室盖板的一部分设置为透明材质，在盖板上形成可视窗口，从而采用红外测温装置替换目前使用的热电阻测温，红外测温装置的探头在所述可视窗口上自由移动，能够测量整个晶圆内的温度分布。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 设备 | ||
【主权项】：
一种外延设备，包括反应腔体、位于所述反应腔体上部的盖板以及位于所述反应腔体下部的托盘，其特征在于，所述反应腔体设置为空心结构，并设置有冷却水进出口，在空心中通入有冷却水。
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