[发明专利]回收处理氯硅烷尾气的系统及方法

摘要

本发明公开了一种回收处理氯硅烷尾气的系统及方法，该系统包括依次连接的尾气收集系统、反应系统及冷凝系统；其中反应系统包括反应塔，反应塔的上部及下部均装有填料层，中部设有催化剂层，底部还连接有再沸器和液相四氯化硅补充管。回收的尾气组分包括二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅以及极少量的氢气、氯化氢。其中二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅通过反应全部转化为三氯氢硅回到精馏单元再提纯，极少量的氢气、氯化氢最后送到三废处理；尾气物料回用率达到了95%以上，大幅减少了物料的损耗，同时大大减轻了三废的处理压力。

主权项

1.一种回收处理氯硅烷尾气的系统，其特征在于：包括依次连接的尾气收集系统（1）、反应系统（2）及冷凝系统（3）；其中反应系统（2）包括反应塔（21），反应塔（21）的上部及下部均装有填料层（22），中部设有催化剂层（23），底部还连接有再沸器（24）和液相四氯化硅补充管（25）；所述的尾气收集系统（1）设有连接氯硅烷储罐单元、回收单元、精馏单元和冷氢化单元的尾气及尾气冷凝液收集管道；所述尾气收集系统中二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅合计占98%wt以上，氢气与氯化氢比例小于2%wt。