[发明专利]接触垫结构

摘要

本发明提供了一种接触垫结构，包括交替堆叠的N层(N≥6)绝缘层及N层导电层，且具有排成二维阵列的N个区域露出各导电层。当这些导电层由下至上编号为第1至第N导电层时，同行的区域中露出的导电层的编号Ln朝一列方向递减，相邻两行的区域之间的Ln值差异固定，同列的区域中Ln由两端向中央渐减，且相邻两列的区域之间的Ln值差异固定。

主权项

一种接触垫结构，其特征在于，包括交替堆叠的N层(N≥6)绝缘层及N层导电层，且具有N个区域暴露出各个导电层，其中这些区域排列成P×Q的二维阵列(P≥3、Q≥2)，当这些导电层由下至上编号为第1至第N导电层且区域(i，j)(i＝1～P，j＝1～Q)暴露出的导电层为第Lni，j导电层时，在第i列的Q个区域中，Lni，j随j值增加而递减，即Lni，1＞Lni，2＞…＞Lni，Q，第i列的Q个区域及第i+1列的Q个区域之间的Ln值差异固定，即Lni，1‑Lni+1，1＝Lni，2‑Lni+1，2＝…＝Lni，Q‑Lni+1，Q，在第j行的P个区域中，Lni，j由两端向中央渐减，即Ln1，j，Lnp，j＞Ln2，j，Lnp‑1，j＞…，并且第j行的P个区域及第j+1行的P个区域之间的Ln值差异固定，即Ln1，j‑Ln1，j+1＝Ln2，j‑Ln2，j+1＝…＝Lnp，j‑Lnp，j+1。