[发明专利]一种软磁薄膜材料表面电阻高通量测试方法在审
| 申请号： | 201610283377.1 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN105954591A | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 向勇;臧亮;林辰 | 申请（专利权）人： | 宁波国际材料基因工程研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08 |
| 代理公司： | 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 | 代理人： | 王琴 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种软磁薄膜材料表面电阻高通量测试方法，包括：步骤S1，制作软磁薄膜样品：采用高通量组合材料离子束溅射薄膜沉积系统，在钢化玻璃基片上制备多个组分含量不同的软磁薄膜样品，其中多个软磁薄膜样品在钢化玻璃基片上阵列式设置；步骤S2，提供一高通量电阻率测试仪：其包括一探针基板，承载多组四探针，所述多组四探针与多个软磁薄膜样品相对应阵列式设置；步骤S3，测试软磁薄膜样品电阻性能：将四探针接触软磁薄膜样品，测得电流值I及电位差V，一次性测试所述多个软磁薄膜样品，并采用高通量筛选技术对软磁薄膜样品进行测试；及步骤S4，计算电阻率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 材料 表面电阻 通量 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种软磁薄膜材料表面电阻高通量测试方法，其特征在于，包括：步骤S1，制作软磁薄膜样品：采用高通量组合材料离子束溅射薄膜沉积系统，在钢化玻璃基片上制备多个组分含量不同的软磁薄膜样品，其中多个软磁薄膜样品在钢化玻璃基片上阵列式设置；步骤S2，提供一高通量电阻率测试仪：其包括一探针基板，承载至多组四探针，所述多组四探针与多个软磁薄膜样品相对应阵列式设置；步骤S3，测试软磁薄膜样品电阻性能：将四探针接触软磁薄膜样品，测得电流值I及电位差V，一次性测试所述多个软磁薄膜样品，并采用高通量筛选技术对软磁薄膜样品进行测试；及步骤S4，计算电阻率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波国际材料基因工程研究院有限公司，未经宁波国际材料基因工程研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610283377.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高铁信号系统故障检测方法和系统
- 下一篇：触针接插式防窃电电能表箱
