[发明专利]一种套刻误差测量装置及方法有效
| 申请号： | 201610284257.3 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN107329373B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 周钰颖;彭博方;陆海亮 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种套刻误差测量装置及方法，该装置包括光源，用于产生2种或2种以上波长的多色光；照明单元，用于提供照明光照射标记，并将光源发出的光在镜头的瞳面形成特定的照明分布形式；镜头，将照明单元出射的光汇聚至硅片的套刻测量标记上，并接收所述套刻测量标记的衍射光；分光单元，将所述照明单元的光引入镜头，并将镜头收集的硅片衍射光引向探测单元；基底单元，具有套刻测量标记；探测单元，用于探测镜头瞳面的角谱信号；以及处理单元，用于接收探测单元获取的测量信号并进行处理，计算套刻误差。本发明可同时使用多波长测量，增加有效信号，提高测量重复性；且无需扩大探测器面积或减小单个角谱成像区域以获得多个波长的角谱图像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 误差 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种套刻误差测量装置，其特征在于，包括：光源，用于产生2种或2种以上波长的多色光，且相邻两个波长之间至少具有波长间隔Δλ；照明单元，用于提供照明光照射套刻测量标记，并将所述光源发出的光在镜头的瞳面形成特定的照明分布形式，所述照明单元的照明光阑透光区域宽度为L；镜头，将所述照明单元出射的光汇聚至基底单元的套刻测量标记上，并接收所述套刻测量标记的衍射光；分光单元，将所述照明单元的光引入镜头，并将所述镜头收集的基底单元衍射光引向探测单元；基底单元，具有套刻测量标记，所述套刻测量标记的光栅周期为P，上述照明光阑所在平面对应入射到基底单元表面的照明光入射角为90°时的点与入射角为0°的点的间距为Lmax；探测单元，用于接收从上述基底单元反射的衍射光，为探测镜头瞳面的角谱信号；以及处理单元，用于接收所述探测单元获取的测量信号并进行处理，计算套刻误差；其中，上述波长间隔Δλ、透光区域宽度L、光栅周期P及间距Lmax之间满足以下公式![]()
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610284257.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
