[发明专利]一种半导体激光器芯片的自对准烧结夹具及烧结方法有效
申请号: | 201610285100.2 | 申请日: | 2016-04-29 |
公开(公告)号: | CN105896307B | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 杨扬;徐现刚;夏伟;李沛旭 | 申请(专利权)人: | 山东华光光电子股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/022 | 分类号: | H01S5/022 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 陈桂玲 |
地址: | 250101 山东省济*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种半导体激光器芯片的自对准烧结夹具及烧结方法。所述自对准烧结夹具包括底座、导轨支架和压块;所述底座上设有与热沉适配的定位卡槽,所述压块两侧有对称的定位道,所述导轨支架竖立于所述底座上,导轨支架上有对称的悬臂,悬臂内设有定位导轨,使压块的定位道能套入定位导轨中并在定位导轨中上下移动,所述压块底端有压柱,压块向下移动时压柱压紧热沉上的芯片。本发明还提供一种利用该夹具进行半导体激光器芯片烧结的方法。本发明的夹具结构简单,成本低廉,可实现自行对准,操作和观察方便;可实现对半导体激光器的芯片与热沉进行快速批量的烧结,显著提高夹具的烧结良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体激光器 芯片 对准 烧结 夹具 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体激光器芯片自对准烧结夹具,包括底座、导轨支架和压块;所述底座上设有与热沉适配的定位卡槽,所述压块两侧有对称的定位道,导轨支架上有对称的悬臂,悬臂内设有定位导轨,使压块的定位道能套入定位导轨中并在定位导轨中上下移动;所述压块底端有压柱,压块向下移动时压柱压紧热沉上的芯片;压柱的尺寸和位置与待烧结的芯片的尺寸和位置适配;所述压块的定位道是凸缘或凹槽,所述悬臂上的定位导轨是凹槽或凸缘,定位导轨与定位道相适配;所述对称的悬臂是平行的两个竖臂,悬臂与底座表面垂直;所述定位卡槽底端正对热沉上芯片位置开有保护凹槽。
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