[发明专利]具有柱面分布微柱面透镜线阵光学镜头的激光加工装置在审
| 申请号： | 201610285529.1 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN105750729A | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 李永亮;高龙岳;周玮琦 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/364;B23K26/70;G02B27/09 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 具有柱面分布微柱面透镜线阵光学镜头的激光加工装置属于激光加工技术领域。现有激光直写微纳加工方法加工效率低。本发明其特征在于，激光光源、准直扩束镜、光束整形镜、双凹透镜、柱面分布微柱面透镜线阵光学镜头依次光学同轴排列；光束整形镜将光斑呈圆形、光能量高斯分布的激光束整形为光斑呈方形、光能量均匀分布的激光束；所述柱面分布微柱面透镜线阵光学镜头其结构为：在平凸柱面镜的凸柱面镜面上，与柱面母线平行，排列若干微柱面透镜，并且，自位于凸柱面镜面最高点的微柱面透镜至位于凸柱面镜面最低点的微柱面透镜，所述若干微柱面透镜的直径逐渐增大，自每个微柱面透镜出射的条状楔形激光束的对称面彼此平行；平凸柱面镜的平面镜面朝向双凹透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 柱面 分布 透镜 光学 镜头 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种具有柱面分布微柱面透镜线阵光学镜头的激光加工装置，其特征在于，激光光源(1)、准直扩束镜(2)、光束整形镜(3)、双凹透镜(4)、柱面分布微柱面透镜线阵光学镜头依次光学同轴排列；光束整形镜(3)将光斑呈圆形、光能量高斯分布的激光束整形为光斑呈方形、光能量均匀分布的激光束；所述柱面分布微柱面透镜线阵光学镜头其结构为：在平凸柱面镜(5)的凸柱面镜面(6)上，与柱面母线平行，排列若干微柱面透镜(7)，并且，自位于凸柱面镜面(6)最高点的微柱面透镜(7)至位于凸柱面镜面(6)最低点的微柱面透镜(7)，所述若干微柱面透镜(7)的直径逐渐增大，自每个微柱面透镜(7)出射的条状楔形激光束(8)的对称面彼此平行；平凸柱面镜(5)的平面镜面朝向双凹透镜(4)。
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