[发明专利]掩模版弯曲补偿装置、检测补偿系统及补偿方法

摘要

本发明涉及掩模版弯曲补偿装置、检测补偿系统及补偿方法，补偿装置包括固定框架和固定在其周向外侧的能量补偿单元组成。检测补偿系统包括补偿装置和检测装置，检测装置用于检测掩模版受热的变形量和计算抵消该变形量所需要补偿能量值，补偿装置根据该补偿能量值对掩模版热补偿区域进行补偿。补偿装置和检测补偿系统结构简单，操作方便。补偿方法利用检测补偿系统建立坐标系，通过表征量准确计算掩模版在X和Y轴的变形量，进而分别计算出抵消X和Y轴变形量所需的补偿能量值，再通过控制子系统控制补偿装置，实现对掩模版热补偿区域准确补偿加热。该补偿方法实现了对掩模版受热弯曲的准确和及时补偿，尽可能地消除掩模版受热弯曲效应。

主权项

1.一种掩模版弯曲补偿装置，其特征在于：包括能量补偿单元和用于固定所述能量补偿单元的的固定框架；其中，所述能量补偿单元包括光学传播元件、能量调制元件和补偿光源；所述补偿光源用于发出补偿光束；所述能量调制元件用于控制所述补偿光束的能量；所述光学传播元件用于将所述补偿光束反射至掩模版的热补偿区域；所述能量补偿单元还包括补偿控制单元；所述补偿控制单元的补偿能量数值信号输出端与所述能量调制元件连接，所述补偿控制单元的开关控制信号输出端与所述能量调制元件和所述补偿光源连接，所述补偿控制单元用于控制所述补偿光源的开关和向所述能量调制元件传送补偿能量数值信号。