[发明专利]Zn-Mg-Co-Ti系LTCC材料及其制备方法

摘要

本发明属于介质陶瓷领域，尤其涉及Zn‑Mg‑Co‑Ti系LTCC材料及其制备方法。本发明通过Mg和Co二元取代一部分Zn形成(ZnxMgyCoz)TiO₃固溶体，以提高六方ZnTiO₃相的分解温度，并且Co³⁺在850℃～900℃分解为Co²⁺和游离氧原子,游离氧原子能够有效抑制Ti⁴⁺还原为Ti³⁺，制成不含Zn₂TiO₄相的陶瓷。本发明制得的Zn‑Mg‑Co‑Ti系LTCC材料，在850℃～900℃烧结良好，介电常数ε_r＝20～25，Q×f＝40000～70000GHz，谐振频率温度系数τ_f＝‑40～+10ppm/℃。尤其适用于器件的高频化。

主权项

Zn‑Mg‑Co‑Ti系LTCC材料，其特征在于：该Zn‑Mg‑Co‑Ti系LTCC材料的原料组成为：质量百分比95％～98％的ZnO‑MgO‑Co₂O₃‑TiO₂主料和质量百分比2％～5％的降烧剂；所述ZnO‑MgO‑Co₂O₃‑TiO₂主料组成为(ZnxMgyCoz)TiO₃，其中：0.6≤x≤1,0.07≤y≤0.15,0＜z≤0.1；所述降烧剂的组成按摩尔百分比为：35％≤ZnO≤65％,30％≤B₂O₃≤60％，0＜Al₂O₃≤10％，3％≤SiO₂≤15％和0＜CuO≤5％。