[发明专利]非挥发性存储单元及其制作方法

摘要

本发明揭露一种非挥发性存储单元及其制作方法，非挥发性存储单元包括一基板、一选择闸极、一抹除闸极、一浮动闸极、一耦合闸极以及一个或一个以上的介电层。基板包括一第一掺杂区及至少一第二掺杂区，且选择闸极设置于基板上，并位于第一掺杂区与第二掺杂区之间。抹除闸极位于第一掺杂区上方，而浮动闸极则位于选择闸极以及抹除闸极之间。耦合闸极位于抹除闸极、浮动闸极及/或部份选择闸极的投影上方，而介电层用以作为绝缘层，位于相邻的选择闸极、抹除闸极、浮动闸极、耦合闸极或第一掺杂区之间。

主权项

一種非挥发性存储单元，其特征在于，所述非挥发性存储单元包括：一基板，包括一第一掺杂区及至少一第二掺杂区，其中所述第一掺杂区与所述第二掺杂区相邻；一选择闸极，设置于所述基板上，并位于所述第一掺杂区与所述第二掺杂区之间；一抹除闸极，位于所述第一掺杂区上方；一浮动闸极，位于所述选择闸极以及所述抹除闸极之间；一耦合闸极，位于所述抹除闸极、所述浮动闸极以及部份选择闸极的投影上方；及一个或一个以上的介电层，用以作绝缘层，位于相邻的所述选择闸极、所述抹除闸极、所述浮动闸极、所述耦合闸极或所述第一掺杂区之间。