[发明专利]晶圆搬运装置及使用方法

摘要

本发明公开了晶圆搬运装置及使用方法，该装置包括基板，水平设置在基板上的横轴，竖直设置在横轴上的纵轴，以及设置在纵轴上的气爪和设置在气爪上的拾取臂；所述横轴为设置在基板上的清洗横轴、刷洗横轴及甩干横轴；所述纵轴为设置在清洗横轴上的沿清洗横轴水平移动的清洗纵轴、设置在刷洗横轴上的沿刷洗横轴水平移动的刷洗纵轴以及设置在甩干横轴上的沿甩干横轴水平移动的甩干纵轴；所述气爪设置在纵轴上并且沿纵轴竖向移动。本发明提供的晶圆搬运装置应用于晶圆清洗工位之间的转移，其结构紧凑，工艺布局灵活，晶圆清洗设备占地面积少，搬运效率高，有效避免搬运过程中的交叉污染问题，保证晶圆的清洗效果。

主权项

1.一种晶圆搬运装置，其特征在于：包括基板（1），水平设置在基板（1）上的横轴，竖直设置在横轴上的纵轴，以及设置在纵轴上的气爪（5）和设置在气爪（5）上的拾取臂（6）；所述横轴为设置在基板（1）上的清洗横轴（2）、刷洗横轴（14）及甩干横轴（15）；所述纵轴为设置在清洗横轴（2）上的沿清洗横轴（2）水平移动的清洗纵轴（3）、设置在刷洗横轴（14）上的沿刷洗横轴（14）水平移动的刷洗纵轴（16）以及设置在甩干横轴（15）上的沿甩干横轴（15）水平移动的甩干纵轴（17）；所述气爪（5）设置在纵轴上并且沿纵轴竖向移动；所述甩干纵轴（17）上设置有沿甩干纵轴（17）竖向移动的摆动机构（4），与甩干纵轴（17）对应的气爪（5）连接在摆动机构（4）上；所述摆动机构（4）包括沿甩干纵轴（17）竖向移动的伺服电机（18），以及设在伺服电机（18）的输出轴上的法兰板（19），与甩干纵轴（17）对应的气爪（5）上设有气爪安装板（20），气爪安装板（20）固定在法兰板（19）上，摆动机构（4）带动固定在气爪安装板（20）上的拾取臂（6）旋转。