[发明专利]具有辐射单元的照射设备及其制造方法和应用有效
| 申请号： | 201610288952.7 | 申请日： | 2016-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN106122780B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 谢尔盖·赫鲁晓夫 | 申请（专利权）人： | 欧司朗股份有限公司 |
| 主分类号： | F21K9/20 | 分类号： | F21K9/20;F21V5/04;F21Y115/10;F21Y105/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 丁永凡;周涛 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有辐射单元的照射设备及其制造方法和应用。照射设备具有：辐射单元，用于发射在时间积分中呈射束簇形式的辐射；在辐射单元下游的微透镜装置，具有并排设置的多个微会聚透镜，用于将射束簇分成每个微会聚透镜一个子射束簇；和在微透镜装置下游的会聚透镜，将子射束簇至少在时间积分中在照射面中叠加；微会聚透镜划分为分别具有多个微会聚透镜的至少第一组和第二组，其中每组的微会聚透镜是相同的，然而第一组的微会聚透镜在其形状、尺寸和焦距中的至少一个方面与第二组的微会聚透镜不同，使得照射面的经由第一组的微会聚透镜照射的第一区域在其形状及其尺寸中的至少一个方面与照射面的经由第二组的微会聚透镜照射的第二区域不同。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 辐射 单元 照射 设备 及其 制造 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种照射设备(1)，具有：辐射单元(2)，用于发射在时间积分中呈射束簇形式的辐射；在所述辐射单元(2)下游的第一微透镜装置(4)，所述第一微透镜装置具有关于辐射传播方向并排设置的多个微会聚透镜(4a，b)，用于将所述射束簇分成每个微会聚透镜(4a，b)一个子射束簇(20a，b)；和在所述微透镜装置(4)下游的会聚透镜(9)，所述会聚透镜将所述子射束簇(20a，b)至少在时间积分中在照射面(5)中叠加；所述微会聚透镜(4a，b)划分为分别具有多个微会聚透镜(4a，b)的至少第一组和第二组，其中每组的所述微会聚透镜(4a，b)是相同的，然而所述第一组的微会聚透镜(4a)在其形状、尺寸和焦距中的至少一个方面与所述第二组的微会聚透镜(4b)不同，使得所述照射面(5)的经由所述第一组的微会聚透镜(4a)照射的第一区域(21a)在其形状及其尺寸中的至少一个方面与所述照射面(5)的经由所述第二组的微会聚透镜(4b)照射的第二区域(21b)不同。
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