[发明专利]曝光装置、移动体装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法有效
| 申请号： | 201610289114.1 | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN105842993B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02K41/03;F16C29/00;F16C39/04;F16C39/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 于基板载台(PST)，在Y粗动载台(23Y)移动于Y轴方向时，X粗动载台(23X)、重量消除装置(40)及X导件(102)与Y粗动载台(23Y)一体移动于Y轴方向，在X粗动载台(23X)于Y粗动载台(23Y)上移动于X轴方向时，重量消除装置(40)在X导件(102)上与X粗动载台(23X)一体移动于X轴方向。由于X导件(102)是涵盖重量消除装置(40)于X轴方向的移动范围延设于X轴方向，因此重量消除装置(40)不受其位置限制，恒被X导件(102)支承。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 移动 平板 显示器 制造 方法 元件 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置，是以曝光用的能量束使曝光对象的物体曝光，该装置具备：物体保持构件，保持该物体，能往在水平面内彼此正交的第1方向与第2方向移动；重量消除装置，从下方支承该物体保持构件；支承构件，从下方支承该重量消除装置，该重量消除装置支承该物体保持构件；第1移动体，在该重量消除装置支承有该物体保持构件的状态下，使该重量消除装置至少以既定第1行程于该支承构件上往该第1方向相对移动；以及第2移动体，引导该第1移动体于该第1方向的移动，该支承构件从下方支承有支承该物体保持构件的该重量消除装置的状态下，使该支承构件与该第1移动体一起以既定第2行程往该第2方向相对移动，该物体保持构件，可相对该第1移动体于该水平面内移动。
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