[发明专利]曝光装置、移动体装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法有效
| 申请号： | 201610289125.X | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN105842995B | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 于基板载台(PST)，在Y粗动载台(23Y)移动于Y轴方向时，X粗动载台(23X)、重量消除装置(40)及X导件(102)与Y粗动载台(23Y)一体移动于Y轴方向，在X粗动载台(23X)于Y粗动载台(23Y)上移动于X轴方向时，重量消除装置(40)在X导件(102)上与X粗动载台(23X)一体移动于X轴方向。由于X导件(102)是涵盖重量消除装置(40)于X轴方向的移动范围延设于X轴方向，因此重量消除装置(40)不受其位置限制，恒被X导件(102)支承。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 移动 平板 显示器 制造 方法 元件 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置，以曝光用的能量束使曝光对象的物体曝光，其具备：第1移动体，能至少以既定的第1行程往与水平面平行的第1方向移动；第2移动体，能导引该第1移动体往该第1方向的移动，并能往在该水平面内与该第1方向正交的第2方向，在支承该第1移动体的状态下以第2行程移动；物体保持构件，可保持该物体、于该第1及第2方向移动；重量消除装置，从下方支承该物体保持构件；支承构件，能在支承了支承该物体保持构件的该重量消除装置的状态下往该第2方向移动；以及复数个连接构件，连接该第2移动体与该支承构件；该第2移动体透过该复数个连接构件，在支承了支承该物体保持构件的该重量消除装置的状态下，使该支承构件往该第2方向移动。
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