[发明专利]光照射装置以及光照射方法

摘要

提供一种光照射装置以及光照射方法，能够通过一次光取向处理在1个工件上形成取向方向不同的多个区域。光照射装置具备：光照射部(10A)，设置于工件的传输路径，通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振，照射来自光射出口的第一偏振光；光照射部(10C)，在传输路径上与第一光照射部并排设置，通过具有与第一偏振镜不同的方向的透射轴的第二偏振镜对来自光源的光进行偏振，从光射出口照射第二偏振光。光照射装置具备：配置在光照射部的光射出口的光射出侧、规定应通过第一偏振光进行光取向的工件上的区域的遮光板；和配置在光照射部的光射出口的光射出侧，规定应通过第二偏振光进行光取向的工件上的区域的遮光板。

主权项

一种光照射装置，对形成有光取向膜的工件照射偏振光来进行光取向，其特征在于，具备：工作台，将所述工件沿着规定的传输路径进行传输；第一光照射部，设置在所述工件的传输路径上，通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振，从光射出口照射第一偏振光；第二光照射部，在所述传输路径上与所述第一光照射部排列设置，通过第二偏振镜对来自光源的光进行偏振，从光射出口照射第二偏振光，所述第二偏振镜具有与所述第一偏振镜不同的方向的透射轴；第一板部件，配置在所述第一光照射部的光射出口的光射出侧，规定应通过所述第一偏振光进行光取向的所述工件上的第一区域；以及第二板部件，配置在所述第二光照射部的光射出口的光射出侧，规定应通过所述第二偏振光进行光取向的所述工件上的第二区域。