[发明专利]双栅极光电薄膜晶体管的光栅极复合膜结构及薄膜晶体管在审
| 申请号： | 201610289482.6 | 申请日： | 2016-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN105870174A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 王凯;刘兴慧;李惠敏 | 申请（专利权）人： | 广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/786 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 528300 广东省佛山市顺德区大良*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双栅极光电薄膜晶体管的光栅极复合膜结构及薄膜晶体管，其中复合膜结构包括第一透明导电氧化物薄膜、第二透明导电氧化物薄膜和金属层，其中第一透明导电氧化物薄膜、金属层、第二透明导电氧化物薄膜从上到下依次设置，第一透明导电氧化物薄膜与金属层、第二透明导电氧化物薄膜与金属层紧贴。本发明提供的复合膜结构由第一氧化物透明导电薄膜、第二氧化物透明导电薄膜和金属层构成，由于引入了金属层，不仅能降低电阻率，而且能够利用层间的干涉和等离子激元作用形成减反射膜，减少光学损失，增加透光率，可以有效的解决目前透明导电氧化物薄膜表面反射率高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 栅极 光电 薄膜晶体管 复合 膜结构 | ||
【主权项】：
一种双栅极光电薄膜晶体管的光栅极复合膜结构，其特征在于：包括第一透明导电氧化物薄膜、第二透明导电氧化物薄膜和金属层，其中第一透明导电氧化物薄膜、金属层、第二透明导电氧化物薄膜从上到下依次设置，第一透明导电氧化物薄膜与金属层、第二透明导电氧化物薄膜与金属层紧贴。
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