[发明专利]一种一体式石英双振梁加速度计在审
| 申请号： | 201610291353.0 | 申请日： | 2016-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN105866470A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张照云;苏伟;唐彬;高杨;彭勃;陈颖慧;熊壮 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种一体式石英双振梁加速度计，包括质量块和振梁，所述质量块通过折叠梁与固定框连接，所述振梁包括左振梁和右振梁，且所述左、右振梁与质量块构成反对称关系，所述左振梁的一端通过转接块与质量块连接，另一端通过转接块与固定框连接；所述右振梁的一端通过转接块与质量块连接，另一端通过转接块与固定框连接，所述左、右振梁均包括两根振梁，且两根振梁的极性相反。本发明采用一体式石英双振梁加速度计采用一个质量块，两对双振梁，采用MEMS工艺一体成型，相比分体式具有结构紧凑、免装配、易加工的特点，另外采用双振梁，可以避免真空封装，在使用中更加稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体式 石英 双振梁 加速度计 | ||
【主权项】：
一种一体式石英双振梁加速度计，包括质量块和振梁，其特征在于，所述质量块通过折叠梁与固定框连接，所述振梁包括左振梁和右振梁，且所述左、右振梁与质量块构成反对称关系，所述左振梁的一端通过转接块与质量块连接，另一端通过转接块与固定框连接；所述右振梁的一端通过转接块与质量块连接，另一端通过转接块与固定框连接，所述左、右振梁均包括两根振梁，且两根振梁的极性相反。
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