[发明专利]乙炔气体改性类石墨碳膜的制备方法在审
| 申请号： | 201610291946.7 | 申请日： | 2016-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN105951044A | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 宋福田;王忠平;张政民;李世涛;王泰吉;徐鹏 | 申请（专利权）人： | 中车青岛四方机车车辆股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/14;C23C16/26 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 郝瑞刚 |
| 地址： | 266111 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及耐磨防护涂层技术领域，尤其涉及一种乙炔气体改性类石墨碳膜的制备方法，包括：步骤S1、对基体进行表面预处理；步骤S2、将表面预处理完成后的基体放入非平衡磁控溅射离子镀设备的真空腔中；步骤S3、对真空腔进行抽真空；步骤S4、开启碳靶电流；步骤S5、向真空腔内通入氩气和乙炔的混合气体，对基体加偏压，以在基体表面形成改性类石墨碳膜层。该改性类石墨碳膜层在硬度提高的同时能够保留良好的结合性能，且摩擦系数和磨损率均减低，从而具有优异的性能和较长的使用寿命。通过调节乙炔和氩气的比例可以对改性类石墨碳膜层内部sp3与sp2的比值进行较大范围内的调控，以优化其摩擦学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 乙炔 气体 改性 石墨 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种乙炔气体改性类石墨碳膜的制备方法，其特征在于，包括：步骤S1、对基体进行表面预处理；步骤S2、将表面预处理完成后的基体放入非平衡磁控溅射离子镀设备的真空腔中；步骤S3、对真空腔进行抽真空；步骤S4、开启碳靶电流；步骤S5、向真空腔内通入氩气和乙炔的混合气体，对基体加偏压，以在基体表面形成改性类石墨碳膜层。
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