[发明专利]一种单片集成的紫外焦平面器件及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201610292166.4 申请日: 2016-05-05
公开(公告)号: CN107346774A 公开(公告)日: 2017-11-14
发明(设计)人: 李成 申请(专利权)人: 上海芯晨科技有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 上海光华专利事务所31219 代理人: 余明伟
地址: 201800 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种单片集成的紫外焦平面器件及其制备方法,包括制备于同一衬底上的光电二极管阵列和读出电路;提供一衬底,根据设计布局在所述衬底上刻蚀沟槽,确定各光敏元的位置;利用外延生长技术,在所述沟槽内逐层形成N型外延层及P型外延层;刻蚀所述P型外延层以露出部分所述N型外延层;在所述衬底上制备读出电路中的各器件;制作各光敏元的电极,通过金属线将各电极与所述读出电路中相应的器件连接。本发明的单片集成的紫外焦平面器件及其制备方法将光电二极管阵列和读出电路制备于同一衬底上,避免了键合等复杂的制备工艺,提高产品的良率,大大简化生产工艺,降低生产成本,有利于紫外焦平面器件的大规模生产。
搜索关键词: 一种 单片 集成 紫外 平面 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
一种单片集成的紫外焦平面器件,其特征在于,所述单片集成的紫外焦平面器件至少包括:制备于同一衬底上的光电二极管阵列和读出电路;所述光电二极管阵列包括多个光敏元,各光敏元包括制备于所述衬底上的N型外延层、制备于所述N型外延层上的P型外延层,用于接收紫外焦平面上的光;所述读出电路与所述光电二极管阵列通过金属线连接,用于读取各光敏元中的电荷并输出。
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