[发明专利]一种芯片封装方法及芯片封装结构在审
申请号: | 201610292628.2 | 申请日: | 2016-04-28 |
公开(公告)号: | CN105845585A | 公开(公告)日: | 2016-08-10 |
发明(设计)人: | 尤文胜 | 申请(专利权)人: | 合肥祖安投资合伙企业(有限合伙) |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/31;H01L23/488 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供了一种芯片封装方法及芯片封装结构,先在封装载体上形成第一金属层,再在所述第一金属层上形成金属凸块,以及在金属凸块上上形成第一焊接层,然后将焊盘上直接电连接导电体的芯片以有源面朝向所述第一焊接层的方式,通过所述导电体电连接在第一焊接层上,最后经过塑封,使所述第一金属表面被塑封体裸露,以提供外部电连接。因此,所述芯片封装方法无需使用复杂的UBM工艺以及预成型的引线框架,提高了芯片封装的良率以及灵活性设计,且依据本发明提供的芯片封装结构具有较高的封装集成度和可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 方法 结构 | ||
【主权项】:
一种芯片封装方法,其特征在于,包括:在封装载体的表面形成图案化的第一金属层;在所述第一金属层的第一表面上形成多个金属凸块;在所述金属凸块表面形成第一焊接层;将芯片的有源面朝向所述第一焊接层,并通过导电体与所述焊接层电连接,所述导电体位于所述有源面的焊盘上。进行塑封工艺,使塑封材料填充所述芯片与封装载体之间的空隙以及覆盖所述芯片,以形成塑封体;去除所述封装载体,使所述第一金属层的第二表面被所述塑封体裸露,用于提供外部连接,所述第一表面与第二表面相对。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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