[发明专利]设备的异常评估方法与异常评估装置有效
| 申请号： | 201610296671.6 | 申请日： | 2016-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN107229764B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 许耀中;张森嘉;谢宗融 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G06F30/367 | 分类号： | G06F30/367;G06F30/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种设备的异常评估方法，包括下列步骤。根据一配方信息与一传感信号，取得对应于一生命周期的一特征序列，特征序列包括多个特征子集序列，生命周期关联于多个工艺操作。对生命周期重复执行一生命区段分析程序，以取得生命周期中的多个生命区段，以及每一生命区段所对应的特征子集序列。根据每一生命区段所对应的特征子集序列，来建构每一生命区段的一趋势分布。根据多个趋势分布来决定是否发出一警示信息。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 异常 评估 方法 装置 | ||
【主权项】：
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