[发明专利]包含高灵敏度测量模式的色谱测距传感器

摘要

本发明公开了一种包含高灵敏度测量模式的色谱测距传感器。操作色谱测距传感器(CRS)系统的方法可包括色点传感器(CPS)系统，该色点传感器系统包括光学笔，以测量低反射率表面。CRS系统可包含高灵敏度测量模式，在该模式中使用非常规的低采样率或“长”自饱和曝光时间，以测量低反射率表面。“长”自饱和曝光时间可引起一个或多个探测器像素自饱和达到至少饱和阈值水平，其防止它们指示有效波长峰值。这样的像素可限定出标定总测量范围的无效峰值部分。当表面位于CRS系统确定的标定总测量范围的有效子集中，这样排除了无效峰值部分时，CRS仍可检测有效波长峰值或进行高度测量。

主权项

1.一种操作色谱测距传感器(CRS)系统以执行低反射率工件表面的工件高度测量的方法，该方法包括：提供一种CRS系统，当使用在曝光时间的第一标定范围内的曝光时间来操作时，该CRS系统在整个标定总测量范围上具有有效波长峰值，该标定总测量范围在标定上下测量范围限制之间是不间断的；使用自饱和曝光时间来操作CRS，该自饱和曝光时间比在曝光时间的第一标定范围中的曝光时间要长，其中：不管工件表面是否位于标定总测量范围中，自饱和曝光时间使该CRS的至少一个探测器像素饱和达到至少饱和阈值水平，其防止有效波长峰值在标定总测量范围的无效峰值部分中，从而将有效波长峰值测量位置仅留在标定总测量范围的排除了该无效峰值部分的有效子集中，该无效峰值部分对应于通过自饱和曝光时间饱和达到至少饱和阈值水平的该至少一个探测器像素；以及在CRS的用户接口部分上提供一指示，该指示至少为下述之一：(a)基于使用自饱和曝光时间的工件表面的高度测量，以及(b)包含在标定总测量范围的对应于使用自饱和曝光时间的该有效子集中的有效峰值测量位置。