[发明专利]低成本高性能影像芯片的封装结构及其封装方法有效
申请号: | 201610298491.1 | 申请日: | 2016-05-06 |
公开(公告)号: | CN105977269B | 公开(公告)日: | 2018-11-20 |
发明(设计)人: | 任超;曹凯;谢皆雷;吴超;彭祎 | 申请(专利权)人: | 宁波芯健半导体有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L23/488 |
代理公司: | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人: | 周积德 |
地址: | 315327 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开一种低成本高性能影像芯片的封装结构及其封装方法,包括单颗芯片;所述单颗芯片包括晶圆和影像区;所述影像区位于晶圆上,所述影像区边缘的晶圆表面设有焊盘;所述焊盘上设有凸点;除凸点和影像区之外的晶圆表面覆盖绝缘保护层。本发明的封装结构工艺简单,对环境洁净度和机台要求低,通过晶圆级封装的方式,可以大幅降低封装的厚度和提升封装的效率,并且通过长凸点的方式来代替金线,可以大大降低成本。 | ||
搜索关键词: | 低成本 性能 影像 芯片 封装 结构 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种低成本高性能影像芯片的封装方法,其特征在于,包括如下步骤:晶圆(100)上设置影像区(300),影像区(300)边缘的晶圆(100)表面设置焊盘(200);在影像区(300)表面覆盖保护层材料(400),该保护材料是容易与影像区(300)分离的物质;在晶圆(100)表面覆盖绝缘保护层(500),该绝缘保护层(500)不覆盖焊盘(200)上的凸点(600)连接区域和影像区(300);在焊盘(200)表面设置导电的凸点(600),凸点(600)高度控制在5‑150μm;将晶圆(100)修剪至所需厚度,并将整片晶圆(100)划片,得到单颗芯片(101);将单颗芯片(101)与基板(700)对位焊接,然后去除保护层材料(400);在凸点(600)周围补上填充料(800);一种通过上述步骤制造出的低成本高性能影像芯片的封装结构,具体包括单颗芯片(101);所述单颗芯片(101)包括晶圆(100)和影像区(300);所述影像区(300)位于晶圆(100)上,所述影像区(300)边缘的晶圆(100)表面设有焊盘(200);所述焊盘(200)上设有凸点(600);除凸点(600)和影像区(300)之外的晶圆(100)表面覆盖绝缘保护层(500);还包括基板(700),所述基板(700)设有凸点(600)连接处,所述基板(700)与影像区(300)对应的位置上设有镂空开窗(701);所述基板(700)设有外转接处(702);在单颗芯片(101)和基板(700)焊接后,所述凸点(600)周围设置填充料(800);所述凸点(600)高度控制在5‑150μm;所述凸点(600)包括单一结构或者多层结构;所述凸点(600)成分为单一金属或者金属合金。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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