[发明专利]低成本高性能影像芯片的封装结构及其封装方法有效

专利信息
申请号: 201610298491.1 申请日: 2016-05-06
公开(公告)号: CN105977269B 公开(公告)日: 2018-11-20
发明(设计)人: 任超;曹凯;谢皆雷;吴超;彭祎 申请(专利权)人: 宁波芯健半导体有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L23/488
代理公司: 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 代理人: 周积德
地址: 315327 浙江省宁波*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开一种低成本高性能影像芯片的封装结构及其封装方法,包括单颗芯片;所述单颗芯片包括晶圆和影像区;所述影像区位于晶圆上,所述影像区边缘的晶圆表面设有焊盘;所述焊盘上设有凸点;除凸点和影像区之外的晶圆表面覆盖绝缘保护层。本发明的封装结构工艺简单,对环境洁净度和机台要求低,通过晶圆级封装的方式,可以大幅降低封装的厚度和提升封装的效率,并且通过长凸点的方式来代替金线,可以大大降低成本。
搜索关键词: 低成本 性能 影像 芯片 封装 结构 及其 方法
【主权项】:
1.一种低成本高性能影像芯片的封装方法,其特征在于,包括如下步骤:晶圆(100)上设置影像区(300),影像区(300)边缘的晶圆(100)表面设置焊盘(200);在影像区(300)表面覆盖保护层材料(400),该保护材料是容易与影像区(300)分离的物质;在晶圆(100)表面覆盖绝缘保护层(500),该绝缘保护层(500)不覆盖焊盘(200)上的凸点(600)连接区域和影像区(300);在焊盘(200)表面设置导电的凸点(600),凸点(600)高度控制在5‑150μm;将晶圆(100)修剪至所需厚度,并将整片晶圆(100)划片,得到单颗芯片(101);将单颗芯片(101)与基板(700)对位焊接,然后去除保护层材料(400);在凸点(600)周围补上填充料(800);一种通过上述步骤制造出的低成本高性能影像芯片的封装结构,具体包括单颗芯片(101);所述单颗芯片(101)包括晶圆(100)和影像区(300);所述影像区(300)位于晶圆(100)上,所述影像区(300)边缘的晶圆(100)表面设有焊盘(200);所述焊盘(200)上设有凸点(600);除凸点(600)和影像区(300)之外的晶圆(100)表面覆盖绝缘保护层(500);还包括基板(700),所述基板(700)设有凸点(600)连接处,所述基板(700)与影像区(300)对应的位置上设有镂空开窗(701);所述基板(700)设有外转接处(702);在单颗芯片(101)和基板(700)焊接后,所述凸点(600)周围设置填充料(800);所述凸点(600)高度控制在5‑150μm;所述凸点(600)包括单一结构或者多层结构;所述凸点(600)成分为单一金属或者金属合金。
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