[发明专利]一种通过静电驱动进行调节的太赫兹带通滤波器

摘要

本发明为一种通过静电驱动进行调节的太赫兹带通滤波器，硅基底有通孔，其上为二维阵列，太赫兹波从二维阵列上方进入，穿过二维阵列得到滤波，从通孔射出。矩形可动框架套在二维阵列外，框架左右连接静电梳齿驱动器的活动梳齿，阵列中同一行的U形结构或胖T形结构连接框架内侧，框架前后端连接折叠弹簧。直流电压驱动静电梳齿驱动器工作，带动可动框架移动，U形结构和胖T形结构发生相对运动，以改变它们的间距，调节控制本带通滤波器的透过率和中心频率，从而显著提高了太赫兹带通滤波器的性能，并拓展其应用范围。

主权项

1.一种通过静电驱动进行调节的太赫兹带通滤波器，主要包括硅基底(1)和其上的二维阵列，所述二维阵列中的一个阵列单元包括一个U形结构(2)和一个胖T形结构(3)，胖T形结构(3)下方的竖直部分嵌入U形结构(2)内，二者的纵向中心线重合，U形结构(2)和胖T形结构(3)硅主体的顶面为金属层(12)；多个阵列单元构成二维阵列，二维阵列的边长为入射太赫兹波束的直径1.0～1.5倍；硅基底(1)有通孔(13)，通孔(13)的中心与二维阵列的中心重合，通孔(13)的最大线径小于或等于二维阵列的最大边长；太赫兹波从二维阵列上方进入，穿过二维阵列得到滤波，从通孔(13)射出；其特征在于：所述硅基底(1)上还有一个可动框架(4)和多个静电梳齿驱动器(6)，可动框架(4)为矩形框架，套在二维阵列外围，多个静电梳齿驱动器(6)对称地固定安装于可动框架(4)左右两侧外的硅基底(1)上；静电梳齿驱动器(6)的固定梳齿和活动梳齿交错排列，固定梳齿连接A锚点(9)；活动梳齿经弹簧与B锚点(8)相连接，静电梳齿驱动器(6)的活动梳齿与相邻的可动框架(4)外侧相连接，静电梳齿驱动器(6)的活动梳齿在直流电压驱动下移动时带动可动框架(4)移动；可动框架(4)的前、后侧共有2～8个折叠弹簧(5)，可动框架(4)的前侧连接部分在前侧的折叠弹簧(5)一端，可动框架(4)的后侧连接其余在后侧的折叠弹簧(5)一端，所述折叠弹簧(5)的另一端连接C锚点(10)；所述二维阵列同一行中每个阵列单元的胖T形结构(3)的T形上方的横向部分相互连接，左右两端的胖T形结构(3)横向部分的外端连接D锚点(7)；二维阵列同一行中相邻阵列单元的U形结构(2)相互连接，左右两端U形结构(2)的外端连接可动框架(4)内侧；或者，所述二维阵列同一行中每个阵列单元的胖T形结构(3)的T形上方的横向部分相互连接，左右两端的胖T形结构(3)横向部分的外端连接可动框架(4)内侧；二维阵列同一行中相邻阵列单元的U形结构(2)相互连接，左右两端U形结构(2)的外端连接D锚点(7)；所述A锚点(9)、B锚点(8)、C锚点(10)和D锚点(7)与硅基底(1)固定连接，且与硅基底(1)之间有绝缘层(11)。