[发明专利]采用部分相干光场式漫反射屏的面形检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种采用部分相干光场式漫反射屏的面形检测装置及检测方法，部分相干光源发出部分相干光束，经空间光调制器调制，入射至石英平板，石英平板将调制后的部分相干光束漫反射至实验平台上的被检元件，经被检元件反射，将携带被检元件面形信息的部分相干光束反射至成像物镜，经成像物镜成像后，被探测器的靶面接收，探测器将采集到的相位分布信息输入计算机，经计算机进行光场分析计算，利用得到的相位分布反演出被检元件的面形。本发明的优点在于利用部分相干光源的相干性，结合空间光调制器对光强的调制作用，使得石英平板漫反射的光同时具有相干性和可调控性。

主权项

一种采用部分相干光场式漫反射屏的面形检测装置，其特征在于：包括部分相干光场式漫反射屏系统（1）、检测平台系统（2）、成像系统（3）和计算机（4），成像系统（3）与计算机（4）相连；其中，部分相干光场式漫反射屏系统（1）作为物方，包括部分相干光源（1‑1）、空间光调制器（1‑2）和石英平板（1‑3）；检测平台系统（2）包括实验平台（2‑1）和放置在实验平台（2‑1）上的被检元件（2‑2），成像系统（3）包括沿光路依次放置的成像物镜（3‑1）和探测器（3‑2），空间光调制器（1‑2）设置在部分相干光源（1‑1）的出光口，石英平板（1‑3）设置在部分相干光源（1‑1）的光路上，被检元件（2‑2）位于石英平板（1‑3）的漫反射光路上，成像物镜（3‑1）位于被检元件（2‑2）的反射光路上；探测器（3‑2）与计算机（4）连接；部分相干光源（1‑1）发出部分相干光束，经空间光调制器（1‑2）调制，入射至石英平板（1‑3），石英平板（1‑3）将调制后的部分相干光束漫反射至实验平台（2‑1）上的被检元件（2‑2），经被检元件（2‑2）反射，将携带被检元件（2‑2）面形信息的部分相干光束反射至成像物镜（3‑1），经成像物镜（3‑1）成像后，被探测器（3‑2）的靶面接收，探测器（3‑2）将采集到的相位分布信息输入计算机（4），经计算机（4）进行光场分析计算，利用得到的相位分布反演出被检元件（2‑2）的面形。