[发明专利]多晶硅还原尾气的冷凝方法和冷凝系统有效
| 申请号： | 201610300727.0 | 申请日： | 2016-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN107349742B | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王东;杨海军;苟海龙;牛潇萌;摆军;李国苑;常芙萍 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D5/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅还原尾气的冷凝方法，包括：利用环境空气对还原尾气进行第一次冷却处理；利用来自吸收塔塔釜的冷量对第一次冷却后的还原尾气再次进行第二次冷却处理；利用冷冻盐水对第二次冷却后的还原尾气进行第三次冷却处理；对第三次冷却后的还原尾气进行第一次气液分离处理；利用制冷剂对第一次气液分离后得到的不凝气进行冷却处理；对制冷剂冷却后的不凝气进行第二次气液分离处理，并将两次气液分离后得到的液相氯硅烷混合后输出至脱吸塔；利用第二次气液分离后得到的不凝气的冷量，在利用冷冻盐水进行冷却处理之前，对第二次冷却后的还原尾气进行冷却处理。相应地，提供一种冷凝系统。本发明所述冷凝方法和冷凝系统的冷量利用合理。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 尾气 冷凝 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅还原尾气的冷凝方法，所述还原尾气包括氢气、氯化氢气体和气相氯硅烷，其特征在于，所述冷凝方法包括如下步骤：利用环境空气对所述还原尾气进行冷却处理，得到第一次冷却后的还原尾气；利用来自吸收塔塔釜的冷量对第一次冷却后的还原尾气再次进行冷却处理，得到第二次冷却后的还原尾气，所述来自吸收塔塔釜的冷量为来自吸收塔塔釜的‑10～0℃的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量；利用冷冻盐水对第二次冷却后的还原尾气再次进行冷却处理，得到第三次冷却后的还原尾气；对第三次冷却后的还原尾气进行第一次气液分离处理，得到液相氯硅烷和不凝气；利用制冷剂对第一次气液分离后得到的不凝气进行冷却处理；对制冷剂冷却后的不凝气进行第二次气液分离处理，得到液相氯硅烷和不凝气，并将两次气液分离后得到的液相氯硅烷混合后输出至脱吸塔；利用第二次气液分离后得到的不凝气的冷量，在利用冷冻盐水进行冷却处理之前，对第二次冷却后的还原尾气进行冷却处理。
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