[发明专利]多晶硅还原尾气回收方法和回收系统

摘要

本发明提供一种多晶硅还原尾气回收方法，包括：利用氯化氢吸收塔塔顶输出的不凝气的冷量对所述还原尾气进行冷却处理，得到冷却后的还原尾气；在氯化氢吸收塔中利用塔顶自上而下的含有微量氯化氢的液相氯硅烷对所述冷却后的还原尾气进行吸收处理，从塔釜输出富含氯化氢的液相氯硅烷，从塔顶输出不凝气；在氯化氢解析塔中对氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷进行解析处理；利用氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量对氯化氢解析塔输出的含有微量氯化氢的液相氯硅烷进行冷却处理，并将冷却后含有微量氯化氢的液相氯硅烷送入氯化氢吸收塔塔顶。相应地，还提供一种回收系统。本发明所述回收方法和回收系统的冷量利用合理。

主权项

1.一种多晶硅还原尾气回收方法，所述还原尾气包括氢气、氯化氢气体和气相氯硅烷，其特征在于，所述回收方法包括如下步骤：在第一气气换热器中利用氯化氢吸收塔塔顶输出的不凝气的冷量对所述还原尾气进行冷却处理，并输出冷却后的还原尾气；在氯化氢吸收塔中利用塔顶自上而下的含有微量氯化氢的液相氯硅烷对第一气气换热器冷却后的还原尾气进行吸收处理，并从塔釜输出富含氯化氢的液相氯硅烷，从塔顶输出不凝气；在氯化氢解析塔中对氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷进行解析处理，并从塔釜输出含有微量氯化氢的液相氯硅烷；在第一氯硅烷换热器中利用氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量对氯化氢解析塔塔釜输出的含有微量氯化氢的液相氯硅烷进行冷却处理，再将冷却后含有微量氯化氢的液相氯硅烷送入氯化氢吸收塔塔顶；所述回收方法还包括：在将第一氯硅烷换热器冷却后的含有微量氯化氢的液相氯硅烷送入氯化氢吸收塔塔顶之前，在第三氯硅烷换热器中利用来自低压冷凝系统的冷量，对第一氯硅烷换热器冷却后的含有微量氯化氢的液相氯硅烷再次进行冷却处理；在第二氯硅烷换热器中利用氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量对第三氯硅烷换热器冷却后的含有微量氯化氢的液相氯硅烷再次进行冷却处理，并将依次经过第一氯硅烷换热器、第三氯硅烷换热器和第二氯硅烷换热器共计三次冷却处理后的含有微量氯化氢的液相氯硅烷送入氯化氢吸收塔塔顶；或者，所述回收方法还包括：在将第一氯硅烷换热器冷却后的含有微量氯化氢的液相氯硅烷送入氯化氢吸收塔塔顶之前，在第三氯硅烷换热器中利用来自低压冷凝系统的冷量，对第一氯硅烷换热器冷却后的含有微量氯化氢的液相氯硅烷再次进行冷却处理；在第二氯硅烷换热器中利用氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量对第三氯硅烷换热器冷却后的含有微量氯化氢的液相氯硅烷再次进行冷却处理；采用塔顶深冷器对第二氯硅烷换热器冷却后的含有微量氯化氢的液相氯硅烷再次进行冷却处理，并输出冷却后的含有微量氯化氢的液相氯硅烷，并将依次经过第一氯硅烷换热器、第三氯硅烷换热器、第二氯硅烷换热器、塔顶深冷器共计四次冷却处理后的含有微量氯化氢的液相氯硅烷送入氯化氢吸收塔塔顶；其中，所述低压冷凝系统将来自还原工序的高温还原尾气冷凝以实现气液分离以得到液相氯硅烷和不可被冷凝的不凝气，该不凝气中含有氢气、绝大部分氯化氢以及微量的气相氯硅烷，然后将所述不凝气升压以使其满足吸收塔的压力条件后送入吸收塔，在吸收塔中采用来自塔顶的氯化氢含量极少且温度为‑30～‑50℃的液相氯硅烷淋洗液对所述不凝气进行淋洗，从而将所述不凝气中的氯化氢及微量的氯硅烷吸收，得到纯度较高的氢气并从吸收塔的塔顶输出，同时从吸收塔塔釜输出温度为‑30℃～‑20℃的富含氯化氢的液相氯硅烷；将冷量已被第三氯硅烷换热器利用的来自低压冷凝系统的富含氯化氢的液相氯硅烷送入氯化氢解析塔，由氯化氢解析塔进行解析处理。