[发明专利]一种TiO2掺杂ZnNb2O6陶瓷靶材的制备方法

摘要

本发明提出一种TiO₂掺杂ZnNb₂O₆陶瓷靶材的制备方法，通过前驱体的制备、沉淀反应、抽滤干燥、预烧成型及烧结等工艺步骤，采用液相法制备粉体，并严格控制各反应条件，制备出的ZnNb₂O₆‑xTiO₂粉体粒径比较小、成分均匀、纯度高、晶粒生长均匀完整，可以用于多种微波介质陶瓷粉体的制备，同时也显著提升了ZnNb₂O₆陶瓷靶材的致密度及介电性能，极大提高了良品率。

主权项

一种TiO₂掺杂ZnNb₂O₆陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、制备含锌、铌、钛的混合溶液；S2、向所述混合溶液中添加沉淀剂与分散剂，得到沉淀混合溶液，静置后得到混凝沉淀物；S3、对所述混凝沉淀物进行抽滤，并干燥，得到沉淀物；S4、对所述沉淀物进行研磨，得到ZnNb₂O₆‑xTiO₂前驱体粉体，再对所述ZnNb₂O₆‑xTiO₂前驱体粉体进行预烧，得到ZnNb₂O₆‑xTiO₂粉体，对所述ZnNb₂O₆‑xTiO₂粉体进行冷等静压成型，得到ZnNb₂O₆‑xTiO₂陶瓷靶材毛坯；S5、对所述ZnNb₂O₆‑xTiO₂陶瓷靶材毛坯进行烧结，得到ZnNb₂O₆‑xTiO₂陶瓷靶材素坯，之后进行机械加工。