[发明专利]传送装置在审
申请号: | 201610303681.8 | 申请日: | 2016-05-10 |
公开(公告)号: | CN107285030A | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 王人杰;黄建忠;张铭杰;古振男 | 申请(专利权)人: | 由田新技股份有限公司 |
主分类号: | B65G49/06 | 分类号: | B65G49/06 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 马雯雯,臧建明 |
地址: | 中国台湾新北市中*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种传送装置,适于配置在基板制程中的至少一工站,以将基板传入工站或从工站传出。传送装置包括多个传送轮、至少一动力源以及设置在动力源与传送轮之间的切换组件。在基板在传入工站的过程中,切换组件连接动力源与传动轮,以使动力源驱动传送轮转动而传送基板。当基板完全移入工站后,切换组件断除传送轮与动力源的连接,而使传送轮处于自由状态。本发明藉由切换组件而让传送轮能分别处于动力状态与自由状态,以顺利地传送基板,能有效降低制造成本,提高制程效率。 | ||
搜索关键词: | 传送 装置 | ||
【主权项】:
一种传送装置,适于配置在基板制程中的至少一工站,其特征在于,所述传送装置包括:多个传送轮;至少一动力源;以及切换组件,设置在所述至少一动力源与所述多个传送轮之间,当基板在传入所述工站的过程中,所述切换组件连接所述动力源与所述多个传动轮,以使所述动力源驱动所述多个传送轮转动而传送所述基板,当所述基板完全移入所述工站后,所述切换组件断除所述多个传送轮与所述动力源的连接,而使所述多个传送轮处于自由状态。
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