[发明专利]涂布装置、涂布系统及涂布方法在审
| 申请号： | 201610305545.2 | 申请日： | 2016-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN106140567A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 高濑真治 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | B05C9/08 | 分类号： | B05C9/08;B05C11/10;B05D1/40;B01D19/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 路勇 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种涂布装置、涂布系统及涂布方法，能够一面进行脱气处理，一面连续地进行涂布处理，从而谋求生产效率的提高。所述涂布装置具备：涂布部，将涂布液涂布于涂布对象；供给部，对所述涂布部供给所述涂布液；第一脱气部及第二脱气部，进行所述涂布液的脱气；以及切换部，以在由所述第一脱气部进行所述脱气期间从所述第二脱气部向所述涂布部供给所述涂布液的方式，对所述第一脱气部及所述第二脱气部进行切换。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种涂布装置，其具备：涂布部，将涂布液涂布于涂布对象；供给部，对所述涂布部供给所述涂布液；第一脱气部及第二脱气部，进行所述涂布液的脱气；以及切换部，以在由所述第一脱气部进行所述脱气期间从所述第二脱气部向所述涂布部供给所述涂布液的方式，对所述第一脱气部及所述第二脱气部进行切换。
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B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法，不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体，或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法，不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体，或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
