[发明专利]一种材料的微区光学、电学的测量装置及方法在审
| 申请号： | 201610305589.5 | 申请日： | 2016-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN105973803A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李娟;张小娴;王婷;曾齐斌;秦靓;裘晓辉 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00;G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 张海英;林波 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明纳米材料测量技术领域，尤其涉及一种材料的微区光学、电学的测量装置及方法。微区光学、电学的测量装置包括共焦显微仪器，该共焦显微仪器包括样品台，还包括吸附在样品台上的探针座，所述探针座与样品台同步移动。同时，还提供了采用上述装置的测量方法。在本发明中通过在共焦显微仪器的样品台上设置探针座，结合此探针座的使用，可以实现在光照下对材料进行精确的I‑V电学性质测量和在器件运作过程中如栅压调控下的光学测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 光学 电学 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种材料的微区光学、电学的测量装置，包括共焦显微仪器(1)，该共焦显微仪器(1)包括样品台，其特征在于，还包括吸附在样品台上的探针座，所述探针座与样品台同步移动。
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