[发明专利]同步测量高功率光纤激光器功率、光谱和光束质量的装置

摘要

本发明公开了一种同步测量高功率光纤激光器功率、光谱和光束质量的装置，共光轴依次设置准直器、高反镜组、第一楔板玻璃、第一多槽可插拔衰减器、凸透镜和光纤探头，上述元件构成光谱测量光路，准直器设置在待测光纤激光器输出端，光纤探头与光纤光谱仪连接；平凹镜和功率计靶面依次设置在高反镜组的反射光路上，功率计靶面与功率计连接；第二楔板玻璃设置在第一楔板玻璃的反射光路，第二多槽可插拔衰减器和光束质量分析仪依次设置在第二楔板玻璃的反射光路上；上述元件设置在光学平台上。本发明实现了高功率光纤激光器功率、光谱和光束质量的同步测量，提高了测量效率；同时有效减少了光学像差和泵浦光等干扰因素对测量结果的影响，提高了测量精度。

主权项

一种同步测量高功率光纤激光器功率、光谱和光束质量的装置，其特征在于：包括准直器(1)、高反镜组(2)、平凹镜(3)、功率计靶面(4)、功率计(5)、第一楔板玻璃(6‑1)、第二楔板玻璃(6‑2)、第一多槽可插拔衰减器(7‑1)、第二多槽可插拔衰减器(7‑2)、凸透镜(8)、光纤探头(9)、光纤光谱仪(10)和光束质量分析仪(12)，共光轴依次设置准直器(1)、高反镜组(2)、第一楔板玻璃(6‑1)、第一多槽可插拔衰减器(7‑1)、凸透镜(8)和光纤探头(9)，上述元件构成光谱测量光路，准直器(1)设置在待测光纤激光器输出端，光纤探头(9)与光纤光谱仪(10)连接；平凹镜(3)和功率计靶面(4)依次设置在高反镜组(2)的反射光路上，功率计靶面(4)与功率计(5)连接；第二楔板玻璃(6‑2)设置在第一楔板玻璃(6‑1)的反射光路，第二多槽可插拔衰减器(7‑2)和光束质量分析仪(12)依次设置在第二楔板玻璃(6‑2)的反射光路上；上述元件设置在光学平台上；待测光纤激光器发出高功率激光，经准直器(1)准直后射入高反镜组(2)分为第一反射光和第一透射光，第一反射光经平凹镜(3)发散后，被功率计靶面(4)接收后，转化为电压信号，送入功率计(5)，得到待测光纤激光器的输出功率；第一透射光射入第一楔板玻璃(6‑1)分为第二反射光和第二透射光，第二透射光进入第一多槽可插拔衰减器(7‑1)，经第一多槽可插拔衰减器(7‑1)衰减后经凸透镜(8)会聚，被光纤探头(9)接收，光纤探头(9)将衰减后的第二透射光送入光纤光谱仪(10)，光纤光谱仪(10)获得待测光纤激光器的光谱信息；第二反射光射入第二楔板玻璃(6‑2)分为第三反射光和第三透射光，第三反射光射入第二多槽可插拔衰减器(7‑2)，经第二多槽可插拔衰减器(7‑2)衰减后射入光束质量分析仪(12)，经光束质量分析仪(12)分析得到待测光纤激光器的光束质量。