[发明专利]一种二维步进移动的电场分布扫描测量装置

摘要

本发明公开了属于液体介质空间电场光学测量技术领域的一种二维步进移动的电场分布扫描测量装置及方法。该扫描测量装置包括光路系统、试验腔体、步进系统,试验腔体安装于步进系统上。利用反射镜调节光束位置和方向使其穿过电场区域，利用LabVIEW软件编程控制试验腔体的水平运动和垂直运动，完成光束在电极区域二维平面内的逐点扫描，在每一点处停留一段时间，由示波器记录下光电探测器输出的随冲击电压变化的光强曲线，反算出电场变化过程，最终得到电场分布特性。本发明利用光学方法实现对液体介质中区域电场的分布测量。本装置的扫描过程由程序控制完成，智能简便，避免了人为操作误差，具有良好的重复性和准确性。

主权项

1.一种二维步进移动的电场分布扫描测量装置，利用光学方法对液体介质中区域电场的分布测量；所述二维步进移动的电场分布扫描测量装置由在步进系统上放置试验腔体，步进系统两边各布置一套光路系统构成；其中步进系统包括水平移动台、垂直升降台、固定板；所有光学器件和水平移动台安装在光学平台上；其中，由垂直升降台安装在水平移动台上，固定板安装在垂直升降台上构成步进系统；试验腔体安装在固定板上；其特征在于，在步进系统左边，由激光器、起偏器、第一1/4波片和第一定反射镜依次放置在步进系统左边的光学平台上，第一动反射镜垂直放置第一定反射镜上面，反射光轴水平通过试验腔体的一对电极之间；在步进系统右边，与第一动反射镜对应的位置上固定第二动反射镜，正对第二动反射镜下面的光学平台上放置第二定反射镜，在第二定反射镜后面依次放置第二1/4波片、检偏器和光电探测器，光电探测器作为光强接收装置；其中第一定反射镜、第一动反射镜、第二动反射镜、第二定反射镜的反射面与光束的传播方向成45°，第一动反射镜和第二动反射镜的高度可调，从而改变光束的垂直高度；所述水平移动台在X方向移动，有效行程为0～300mm，移动速度为0.001～1mm/s，重复定位精度0.05mm；垂直升降台在Y方向移动，有效行程为22mm，移动速度为2.6*10‑6～0.2mm/s，重复定位精度0.01mm。