[发明专利]一种激光诱导击穿光谱检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种激光诱导击穿光谱检测装置及检测方法，包括光谱仪、计算机、激光光源、分光镜、第一透镜和第二透镜、空心光纤、刻度盘、光谱仪耦合探头；计算机控制光谱仪和激光光源的工作；分光镜将激光光源发出的单光束分开成相互垂直的两束激光，一束经过第一透镜聚焦到被测样品上实现预烧蚀，另一束激光经第二透镜聚焦到空心光纤中，从而对被测样品进行再烧蚀；刻度盘对经第一透镜聚焦到被测样品的光束与经第二透镜聚焦到空心光纤中光束的光束夹角进行标定，上述光束夹角能够在预定范围内自由调节；光谱仪耦合探头耦合激光诱导的等离子体光并传输到光谱仪中。通过采用上述技术手段，实现自由角度的探测，提高发射谱线的强度。

主权项

1.一种激光诱导击穿光谱检测装置，其特征在于，包括用于获取光谱数据的光谱仪；计算机；用于产生激发击穿光谱的高能量光束的激光光源；分光镜；用于聚焦激光光束的第一透镜和第二透镜；空心光纤；刻度盘；以及光谱仪耦合探头；所述计算机与所述光谱仪和所述激光光源分别相连，用于控制所述光谱仪和所述激光光源的工作；所述分光镜将所述激光光源发出的单光束分开成相互垂直的两束激光，一束经过所述第一透镜聚焦到被测样品上实现预烧蚀，另一束激光经第二透镜聚焦到所述空心光纤中，从而在所述空心光纤中传输高能量光束对被测样品进行再烧蚀；所述刻度盘对经所述第一透镜聚焦到被测样品的光束与经第二透镜聚焦到所述空心光纤中光束的光束夹角进行标定，上述光束夹角能够在预定范围内自由调节；所述光谱仪耦合探头用于耦合激光诱导的等离子体光，并传输到所述光谱仪中。