[发明专利]一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺有效
| 申请号： | 201610306488.X | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN105887027B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 孙虎民;赵文普;陈亚光;高建杰 | 申请（专利权）人： | 洛阳高新四丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F9/04;B22F1/00 |
| 代理公司： | 郑州知己知识产权代理有限公司 41132 | 代理人： | 季发军 |
| 地址： | 471000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明属于冶金材料技术领域，具体涉及一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺，包括制粉、成型、真空烧结和机械加工步骤，所述制粉包括以下步骤：将钼粉和铌粉按照重量比为6‑10:1的比例装入球磨机中，然后加入过程控制剂和氧化锆磨球，在氩气保护下进行球磨，过筛，分离得到钼铌合金复合粉末；所述过程控制剂和氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0.01‑0.05倍、5‑20倍；所述的过程控制剂为硬脂酸锌、棕榈酸、硬脂酸乙酯、聚乙烯醇和硬脂酸中的一种或几种。本发明所得钼铌合金溅射靶材为单一物相组织，组织均匀无孔洞，平均晶粒尺寸为40‑65μm，其密度≥9.85g/cm3，性能优异，可广泛的应用于平面显示器等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 钼铌合金 过程控制剂 溅射靶材 氧化锆磨球 制备工艺 制粉 钼粉 铌粉 球磨机 聚乙烯 孔洞 机械加工步骤 醇和硬脂酸 平面显示器 硬脂酸乙酯 单一物相 复合粉末 平均晶粒 冶金材料 硬脂酸锌 真空烧结 氩气保护 重量比 棕榈酸 过筛 球磨 装入 成型 应用 | ||
【主权项】：
1.一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺，包括制粉、成型、真空烧结和机械加工步骤，其特征在于，所述制粉包括以下步骤：将钼粉和铌粉按照重量比为6‑10:1的比例装入球磨机中，然后加入过程控制剂和氧化锆磨球，在氩气保护下进行球磨，过筛，分离得到钼铌合金复合粉末；所述过程控制剂和氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0.01‑0.05倍、5‑20倍；所述的过程控制剂为硬脂酸锌、棕榈酸、硬脂酸乙酯、聚乙烯醇和硬脂酸中的一种或几种；所述的钼铌合金复合粉末的粒径为5‑10μm；所述的氧化锆磨球的粒径为1‑3mm。
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