[发明专利]一种高功率激光装置的大型箱体表面的洁净处理方法

摘要

本发明提供了一种高功率激光装置的大型箱体表面的洁净处理方法。所述的方法首先采用普通清洗方法以去除箱体表面的大粒径和大面积污染物，其后经脱水处理，再将元件浸泡于清水中浸润，浸润后的箱体经过两次清洗剂溶液高压喷淋清洗、清水高压喷淋漂洗和脱水处理过程。本发明的高功率激光装置的大型箱体表面的洁净处理方法，适用于高功率激光装置的大型箱体表面的清洁，污染物去除效果好，处理后的箱体表面洁净度等级高，具有可靠、经济、高效的特点。清洗后的大型箱体表面洁净度等级优于BJD 100级‑A/10A。

主权项

1.一种高功率激光装置的大型箱体表面的洁净处理方法，其特征在于，所述处理方法包括以下步骤：a1.用纯水擦拭箱体表面；a2.对箱体进行脱水处理；a3.用清水浸润箱体表面；a4.用清洗剂溶液对箱体进行高压喷淋清洗；a5.用清水对箱体进行高压喷淋清洗；a6.对箱体进行脱水处理；a7.用清洗剂溶液对箱体进行高压喷淋清洗；a8.用清水对箱体进行高压喷淋清洗；a9.对箱体进行脱水处理；所述的步骤a4、a5、a7、a8的出水压力范围为7MPa~17MPa，出水口距箱体表面50mm~100mm；所述的步骤a7、a8的高压喷淋清洗速率小于等于0.15m2/min，高压喷淋清洗介质的温度为55℃~65℃。