[发明专利]一种熔石英激光损伤的无热残余应力修复方法有效
| 申请号： | 201610306938.5 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN105948519B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张传超;廖威;王海军;张丽娟;叶亚云;陈静;蒋一岚;栾晓雨;袁晓东;郑万国 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种熔石英激光损伤的无热残余应力修复方法，该方法通过截取激光器输出脉冲的峰值段，获得高峰值功率矩形激光脉冲；聚焦高峰值功率矩形激光脉冲，获得甚高峰值功率密度单激光脉冲；使用单激光脉冲瞬间气化剥离熔石英基底上的单点的损伤部位材料；控制单激光脉冲间隔，使基底充分冷却；利用单激光脉冲重复进行气化剥离，直至去除损伤部位全部材料。本发明方法有效控制了熔石英基底发生高温结构弛豫，获得了无热残余应力的熔石英损伤修复，提升了熔石英光学元件损伤点的抗损伤能力，抑制了熔石英光学元件表面损伤及其增长，延长了熔石英光学元件使用寿命，具有修复时间短、过程简洁高效、工艺稳定性好、可控性强、重复性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 激光 损伤 残余 应力 修复 方法 | ||
【主权项】：
1.一种熔石英激光损伤的无热残余应力修复方法，其特征在于：包括以下步骤：a.采用最高连续输出功率100W的射频激励CO2激光器，设置输出频率为1000Hz，占空比25%，其输出脉冲波形具有百微秒的上升沿，之后才达到功率峰值，截取高峰值功率矩形激光脉冲；b. 聚焦高峰值功率矩形激光脉冲，单激光脉冲的光斑直径尺寸范围为80μm~140μm，获得甚高峰值功率密度单激光脉冲，单激光脉冲的峰值功率密度大于等于1×106W/cm2；c. 使用单激光脉冲瞬间气化剥离基底上的单点的损伤部位材料；d. 控制单激光脉冲间隔，使基底充分冷却，重复步骤c，直至去除损伤部位全部材料。
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