[发明专利]一种光激电拾的EL-QCM-D阵列化流体检测系统

摘要

本发明公开了一种光激电拾的EL‑QCM‑D阵列化流体检测系统，系统包括激励光源、检测腔室、石英晶振、接收线圈和信号处理单元。检测系统采用文丘里管式结构系统，从而可以实现检测过程中对气相和液相的可兼容性检测。本发明采用瞬态响应法进行检测，激励信号通过自谐振光激方式获取，在石英晶振阵列中间设置棱镜，使得透过激光入口的光可以被分散到每个石英晶振上面，通过法布里‑珀罗模型对无电极的石英晶振阵列进行激励，产生谐振。在无接触的条件下，接收线圈可以获取相应的振动信号并转换为线圈中的电信号，进而传送给信号处理单元获取特征参数，包括频率响应和耗散因子，从而实现无线QCM‑D的无线激励与检测。本方案适用于传感器检测领域。

主权项

1.一种光激电拾的EL‑QCM‑D阵列化流体检测系统，其特征在于，包括：激励光源：发射激光对石英晶振进行激励，激光类型为He‑Ne激光；检测腔室：流体流经检测腔室，实现对气相和液相检测的可兼容性；石英晶振：设置在检测腔室的中部位置，在激光的激励下产生交变电磁场；接收线圈：接收石英晶振产生的交变电磁场产生电信号，并将电信号发送到信号处理单元；信号处理单元：对从接收线圈接收得到的电信号进行滤波放大处理，通过示波器进行显示，再通过PC处理信号流获取被测对象的特征参数，特征参数包括频率响应和耗散因子；所述检测腔室为文丘里管结构，包括依次连接的螺纹段、入口段、收缩段、喉道、扩散段和出口段，石英晶振有四个，环绕构成晶片阵列设置在喉道内，每个石英晶振对应有一个接收线圈；四个石英晶振两两对称，每个石英晶振与相邻的石英晶振垂直；所述出口段上设有激光入口，激光入口上设置有半透膜，激光从激光入口进入检测腔室之后与晶片阵列的中心线重合，晶片阵列中心设置有使激光投射到各个石英晶振上的棱镜。