[发明专利]湿法刻蚀装置及其防爆方法

摘要

本发明提供一种湿法刻蚀装置及其防爆方法，利用加热器(22)监控储液箱(2)内的温度，当储液箱(2)内的温度达到预设的温度上限时，通过控制装置(23)自动关闭加热器(22)，打开腔室清洗装置(11)喷出清洗水，清洗水对刻蚀反应腔(1)进行冲洗后，回流至储液箱(2)内并与储液箱(2)内的刻蚀药液中和，使得储液箱(2)内的温度降低，能够有效监控并及时降低储液箱(2)内的温度，防止储液箱(2)内的温度过高发生爆炸，保障生产安全，提升生产稼动率。

主权项

1.一种湿法刻蚀装置，其特征在于，包括：刻蚀反应腔(1)、设于所述刻蚀反应腔(1)内的腔室清洗装置(11)、与刻蚀反应腔(1)连通的储液箱(2)、设于所述储液箱(2)内的加热器(22)、设于储液箱(2)底部并与所述储液箱(2)连通的排液管(3)、设于储液箱(2)侧上方表面的溢流口(4)、连通所述溢流口(4)和排液管(3)的溢流管(5)、以及与所述腔室清洗装置(11)、加热器(22)电性连接的控制装置(23)；所述储液箱(2)容置刻蚀药液，所述加热器(22)加热刻蚀药液并监控储液箱(2)内的温度，所述控制装置(23)在储液箱(2)内的温度达到预设的温度上限时关闭加热器(22)，打开腔室清洗装置(11)喷出清洗水，清洗水对刻蚀反应腔(1)进行冲洗后，回流至储液箱(2)内并与储液箱(2)内的刻蚀药液中和，降低储液箱(2)内的温度；所述清洗水为去离子水。