[发明专利]平行光出射的角放大MEMS扫描方法和光学系统在审
| 申请号： | 201610308991.9 | 申请日： | 2016-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN105807421A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张尹馨;庞亚军;黄战华;赵健;盖叶 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘国威 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于光机系统领域，为提供一种MEMS扫描光学系统，实现扩展光学扫描角度，又可以保障光束质量的平行光出射，本发明：平行光出射的角放大MEMS扫描光学系统，由正透镜，MEMS振镜和负透镜组成，正透镜放置于光束入射MEMS振镜之前，负透镜放置于光束入射MEMS振镜之后；负透镜的后焦平面与正透镜的经过MEMS振镜转折之后的后焦平面重合，平行或非平行光束经过正透镜汇聚和MEMS振镜反射后，向着正透镜的转折后焦点聚焦，入射负透镜后，由于负透镜的发散作用，成为新的平行光束出射出去；MEMS振镜可在其驱动器的控制下进行精密的小角度摆动，完成光束扫描功能。本发明主要应用于光机系统设计制造场合。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 光出射 放大 mems 扫描 方法 光学系统 | ||
【主权项】：
一种平行光出射的角放大MEMS扫描光学系统，其特征是，由正透镜，MEMS振镜和负透镜组成，正透镜放置于光束入射MEMS振镜之前，负透镜放置于光束入射MEMS振镜之后；负透镜的后焦平面与正透镜的经过MEMS振镜转折之后的后焦平面重合，平行或非平行光束经过正透镜汇聚和MEMS振镜反射后，向着正透镜的转折后焦点聚焦，入射负透镜后，由于负透镜的发散作用，成为新的平行光束出射出去；MEMS振镜可在其驱动器的控制下进行精密的小角度摆动，完成光束扫描功能。
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