[发明专利]一种基于边带滤光片的拉曼光谱仪

摘要

一种基于边带滤光片的拉曼光谱仪，在其光路上包括特殊带通滤光片和特殊边带滤光片，其中，所述特殊带通滤光片和特殊边带滤光片分别设置于可调节支架上，从而能够对所述单光栅拉曼光谱仪发出的激光束经过的位置和角度进行精确调节。本发明可以方便地进行低至10波数的样品拉曼信号的显微共焦测量，具有结构简单、稳定性好、调节方便、透过率高和便于扩展的优点。

主权项

一种基于边带滤光片的拉曼光谱仪，包括激光器模块、激光器导入与纯化模块、光路耦合与输出模块和信号检测模块，其特征在于，所述激光器模块至少包括一个激光器LS1，用于发出激光束；所述激光器导入与纯化模块包括至少两个反射镜M1与M3和特殊带通滤光片BPF，用于将所述激光器模块发出的激光束经由反射镜反射到所述特殊带通滤光片BPF的中心，并由所述特殊带通滤光片BPF反射到后续光路；所述光路耦合与输出模块包括至少两个反射镜M4与M5、特殊边带滤光片EFT、显微物镜OBJ和聚焦透镜LNS，用于将所述特殊带通滤光片BPF反射的激光束通过两反射镜M4与M5反射到所述特殊边带滤光片EFT的中心，所述特殊边带滤光片EFT再将激光束导向显微物镜OBJ，经显微物镜OBJ聚焦到样品SMP并对其进行照射，并允许照射所述样品SMP的反射光和拉曼信号光经显微物镜OBJ收集后回射到所述特殊边带滤光片EFT的中心，进而利用所述特殊边带滤光片EFT来获得纯净的拉曼信号光，进而由聚焦透镜LNS汇聚到后续的信号检测模块；所述信号检测模块包括单光栅光谱仪GPY和相应控制电路，用于对所述光路耦合与输出模块获得的纯净拉曼信号光进行检测，得到样品SMP的拉曼光谱；所述激光器导入与纯化模块中还包括位于所述激光器模块与特殊带通滤光片BPF之间的偏振光学元件P1，用于对所述激光器模块发出的激光束进行偏振处理后再反射到所述特殊带通滤光片BPF的中心；所述光路耦合与输出模块还包括位于所述特殊边带滤光片EFT与聚焦透镜LNS之间的偏振光学元件P2，用于将透过所述特殊边带滤光片EFT的激光束进行偏振处理后再导向聚焦透镜LNS；其中，所述特殊带通滤光片BPF是一种基于布拉格体光栅技术的反射式带通滤光片；所述特殊边带滤光片EFT的截止波数小于等于50波数。