[发明专利]一种在蓝宝石衬底上生长石墨烯的方法在审
| 申请号： | 201610310853.4 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN105967174A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 陈刚毅;梅劲 | 申请（专利权）人： | 芜湖德豪润达光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 广东朗乾律师事务所 44291 | 代理人： | 杨焕军 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种在蓝宝石衬底上生长石墨烯的方法，包括以下步骤：将蓝宝石衬底置入化学气相沉积反应炉中；向反应炉中通入氢气，对蓝宝石衬底进行退火、清洁处理；向反应炉通入碳氢化合物和惰性气体的混合气体；向反应炉中通入氢气，对蓝宝石衬底下进行退火处理，得到石墨烯膜层。本发明在蓝宝石衬底上生长石墨烯层，使其与氮化物在界面连接处形成键能较弱的分子键，有利于氮化物外延层和蓝宝石衬底的无损伤剥离，使衬底可反复使用，降低衬底使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 生长 石墨 方法 | ||
【主权项】：
一种在蓝宝石衬底上生长石墨烯的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将蓝宝石衬底置入化学气相沉积反应炉中；步骤2、向反应炉中通入氢气，对蓝宝石衬底进行清洁、退火处理；步骤3、向反应炉通入碳氢化合物和惰性气体的混合气体；步骤4、向反应炉中通入氢气，对蓝宝石衬底下进行退火处理，得到石墨烯膜层。
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