[发明专利]一种 CMOS 图像传感器

摘要

本发明提供了一种CMOS图像传感器及其制作方法，通过刻蚀减薄内部电路上钝化层的厚度，使内部电路感光区的厚度比外围电路薄，在不影响外围电路金属布线和感光区功能的情况下，有效地减小了感光区入射光线到光电二极管表面的传输距离，减少了光路传输过程中因光电子吸收和散射而产生的损失；通过对光电二极管上的介质层与钝化层进行刻蚀，并填充高折射率材料，使入射光线在所述高折射率材料中发生全反射，从而减小入射光因反射或折射而产生的损失，提高光电二极管的感光度，从而提高图像的显示效果。

主权项

一种CMOS图像传感器，包括外围电路与内部电路，所述外围电路与内部电路均包括衬底、位于衬底上的各层金属层以及位于顶层的金属层上的钝化层，其特征在于，所述内部电路钝化层的厚度小于所述外围电路钝化层的厚度。