[发明专利]照明系统有效
| 申请号： | 201610311626.3 | 申请日： | 2012-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN106028581B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | J·卡斯基;T·莱迪格;D·马克尔;陈正方 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05B37/02 | 分类号： | H05B37/02;H05B37/03;H05B37/04 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 李晓冬 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请涉及照明系统。具体地，提供了一种照明系统以及用于控制该照明系统的方法。在一个实施例中，该方法包括：提供多个照明源；在一段时间内，监测多个照明源的光输出功率；以及控制多个照明源以维持预定水平的光输出功率。该方法还包括：补偿多个照明源中的一个或多个照明源的衰减以维持预定水平的光输出功率；基于多个照明源的参数，预测照明系统的使用寿命；以及根据质量控制计划表，执行多个照明源的定期维护。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制照明系统的方法，包括：在一段时间内，监测多个照明源的光输出功率，包括：顺序地校正所述多个照明源的子集以确定所述多个照明源的被校正的所述子集的光输出；控制所述多个照明源以维持预定水平的光输出功率；检测所述多个照明源中的至少一个缺陷照明源；以及控制所述多个照明源中的至少一个非缺陷照明源以取代所述至少一个缺陷照明源的照明，其中所述多个照明源包括光化照明源和非光化照明源，并且所述光化照明源各自具有不同的曝光波长用于光刻。
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