[发明专利]光刻胶的参数检测方法及装置

摘要

本发明公开了一种光刻胶的参数检测方法及装置，属于显示技术领域。所述装置包括：控制模块和与所述控制模块连接的检测模块，所述检测模块用于在所述控制模块的作用下采用光源照射阵列基板上的待测光刻胶；所述检测模块还用于在所述控制模块的控制下，采集所述光源照射所述待测光刻胶后产生的光谱信号，并将所述光谱信号传输至所述控制模块；所述控制模块用于将所述光谱信号转换为相应的电信号，并根据所述电信号检测所述待测光刻胶的指定参数，所述指定参数包括厚度和指定成分的含量中的至少一种。本发明解决了检测的参数较单一的问题，实现了丰富检测参数的效果，用于光刻胶的参数检测。

主权项

1.一种光刻胶的参数检测装置，其特征在于，所述装置包括：控制模块和与所述控制模块连接的检测模块，所述检测模块用于在所述控制模块的作用下采用光源照射阵列基板上的待测光刻胶；所述检测模块还用于在所述控制模块的控制下，采集所述光源照射所述待测光刻胶后产生的光谱信号，并将所述光谱信号传输至所述控制模块；所述控制模块用于将所述光谱信号转换为相应的电信号，并根据所述电信号检测所述待测光刻胶的指定参数，所述指定参数包括厚度和指定成分的含量中的至少一种；其中，所述检测模块包括至少两个检测子模块，且所述至少两个检测子模块平行排列，每个所述检测子模块为全封闭式结构；每个所述检测子模块包括发光单元和采集单元，所述发光单元包括光源探头、聚焦透镜和滤波片，所述采集单元包括光纤探头和采集透镜，所述控制模块包括处理单元、至少两个分光转换单元和供电单元，所述处理单元为微处理器，所述分光转换单元为近红外光谱仪，且所述控制模块包括的分光转换单元的数量与所述检测模块包括的检测子模块的数量相同，所述装置还包括光纤切换器；所述发光单元用于在所述控制模块的作用下采用所述光源照射所述待测光刻胶；所述采集单元用于在所述控制模块的控制下，采集所述光谱信号，并将所述光谱信号传输至所述控制模块；所述光源探头通过电源线与所述控制模块连接，用于在所述控制模块的作用下产生光，所述光源探头产生的光能够通过所述聚焦透镜，并集中照射所述待测光刻胶的指定位置；所述滤波片用于对所述光源探头产生的光进行滤光处理，得到处理后的光，经过滤光处理后的光能够通过所述聚焦透镜，并集中照射所述待测光刻胶的指定位置；所述光纤探头通过光纤与所述控制模块连接，用于在所述控制模块的控制下，通过所述采集透镜采集所述光谱信号，并将所述光谱信号传输至所述控制模块；所述处理单元用于控制所述分光转换单元，以使所述分光转换单元控制所述至少两个检测子模块中每个所述检测子模块的采集单元采集所述光谱信号，并将所述光谱信号传输至所述分光转换单元；所述分光转换单元用于对所述光谱信号进行分光处理和光电转换处理，得到所述电信号，并将所述电信号传输至所述处理单元；所述处理单元还用于根据所述电信号检测所述待测光刻胶的指定参数；所述供电单元用于给所述发光单元供电；所述光纤切换器的一端与所述分光转换单元连接，另一端与所述至少两个检测子模块中每个所述检测子模块的采集单元连接，所述光纤切换器用于控制至少两个采集单元按照顺序依次轮流工作。