[发明专利]一种复合型ALD导气装置

摘要

本发明公开了一种复合型的ALD导气装置，其包括平面台阶（1）和圆弧壁（2）组成的主体结构、导气孔阵列（3）以及抽气孔（4）。本发明通过对反应腔体抽气进行导气，改善反应腔气流分布，能够有效提升制备薄膜的均匀性；同时，利用复合结构，大幅度的节约了空间，在承载了导气功能的同时，也可作为腔体内样品架的支撑机构，实现了功能的复合化。

主权项

1.一种复合型的ALD导气装置，其特征在于，其包括平面台阶（1）和圆弧壁（2）组成的主体结构、导气孔阵列（3）以及抽气孔（4）；其平面台阶（1），中间部分用于布置导气孔，两边平台用于腔体内安装样品架；其圆弧壁（2），其弧度与反应腔弧度相同，便于安装于反应腔内壁；其导气孔阵列（3），孔沿着垂直方向贯穿，孔径为1‑3mm，呈矩形均匀分布，孔间距为10mm‑50mm，与装置内部以及抽气孔连通，用于气体抽气过程中的导流，优化腔体气流分布；其抽气孔（4），与真空抽气管路相连，用于抽气，直径为30mm‑50mm。