[发明专利]一种桥腿分离天线耦合微桥结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种桥腿分离天线耦合微桥结构及其制备方法，解决现有技术中金属薄膜的吸收率低，且天线种类与结构参数可调性差的问题；本发明包括衬底和设置在衬底上方的驱动电路，驱动电路上设置有电路接口，驱动电路的上方设置有带有桥面和桥腿的支撑层，支撑层与驱动电路之间具有由牺牲层制作而成的谐振腔，支撑层上的上方设置有与电路接口相互连接的电极引线层，电极引线层设置有电极引线接口，电极引线层的上方设置有能露出电极引线接口的钝化层，电极引线接口设置有氧化钒层，钝化层的上方设置有由桥面天线和桥腿天线组成的天线层，所述天线层的馈点位于氧化钒层处。本发明具有天线独立可调、多频吸收、吸收率高、偏振探测等特点，用于红外与太赫兹波段探测与成像，具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种桥腿分离天线耦合微桥结构，包括衬底和设置在衬底上方的驱动电路，所述驱动电路上设置有电路接口，所述驱动电路的上方设置有带有桥面和桥腿的支撑层，所述支撑层与驱动电路之间具有由牺牲层制作而成的谐振腔，其特征在于，所述支撑层上的上方设置有与电路接口相互连接的电极引线层，所述电极引线层设置有电极引线接口，所述电极引线层的上方设置有能露出电极引线接口的钝化层，所述电极引线接口设置有氧化钒层，所述钝化层的上方设置有由桥面天线和桥腿天线组成的天线层，所述天线层的馈点位于氧化钒层处。