[发明专利]用于增强沟槽隔离集成电路中的带宽的装置和方法

摘要

本文提供了用于增强沟槽隔离集成电路中的带宽的装置和方法。在一些配置中，形成槽隔离区域之间的漂浮区域的辅助沟槽能够将有源器件区域的寄生侧壁电容隔离于地或AC地。通过这种方式，有源器件区域由辅助沟槽合并，从而提高电路带宽且增强电路性能。当布置或者组合在电路分支内时，每个漂浮槽内的晶体管能够以相对小的寄生位移电流工作且能够具有改进的性能。

主权项

1.一种衰减器设备，包括：基板，与参考电压耦合；第一有源器件，形成在所述基板的第一有源器件区域中，其中所述第一有源器件区域由第一沟槽隔离结构围绕；第二有源器件，形成在第二有源器件区域中，其中所述第二有源器件由第二沟槽隔离结构围绕；其中第三沟槽隔离区域介于所述第一有源器件区域和第二有源器件区域之间以限定所述基板的第一漂浮区域和第二漂浮区域，使得在所述第一有源器件区域与所述第一漂浮区域之间存在第一电容，并且在所述第一漂浮区域与所述第二漂浮区域之间存在第二电容，并且在所述第二漂浮区域与所述第二有源器件区域之间存在第三电容；其中所述第一有源器件具有第一工作电压且所述第二有源器件具有第二工作电压，并且其中所述第一工作电压与第二工作电压之间的差小于所述第一工作电压与所述参考电压之间的差。