[发明专利]用于SF6分析仪校验的标气配制方法及装置

摘要

本发明提供一种用于SF₆分析仪校验的标气配制方法及装置，方法为：1)关闭SF₆气源，对SF₆气源之后连通标气瓶的气路抽真空，测得抽真空后标气瓶的压力值为P₁；2)打开SF₆气源，通过气路对标气瓶充SF₆气体，测得充气后标气瓶的压力值为Q₁；3)重复步骤1)和步骤2)，直至小于0.001Pa，标气瓶中的气体即为配制的标气,由公式得到。装置为：标气灌装系统中配制主气路包括顺次串接在气源与标气瓶之间的第一电磁阀、第一缓冲罐、第一电磁比例调节阀、第一隔膜压缩机和第一压力传感器，真空泵的进气口分别经第一球阀、第二球阀接第一隔膜压缩机的进气口和出气口。本装置可有效去除标气瓶内微量空气，防止易氧化组分被氧化，确保标气质量。

主权项

一种用于SF₆分析仪校验的标气灌装方法，其特征在于采用以下步骤：1)关闭SF₆气源，对SF₆气源之后连通标气瓶的气路抽真空，测得抽真空后标气瓶的压力值为P₁；2)打开SF₆气源，通过气路对标气瓶充SF₆气体，测得充气后标气瓶的压力值为Q₁；3)重复步骤1)和步骤2)，直至小于0.001Pa，标气瓶中的气体即为配制的标气，由公式得到，其中n为抽真空次数，n>1，P_n为第n次标气瓶抽真空后测得的压力，Q_n‑1为标气瓶第n次充气后测得的压力，为标气瓶第n次抽真空后钢瓶内残余的空气压力。