[发明专利]断开装置及断开方法有效
申请号: | 201610319916.2 | 申请日: | 2016-05-13 |
公开(公告)号: | CN106277738B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 曾山正信 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/07 | 分类号: | C03B33/07 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 沈锦华 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种即使为薄基板也能沿着划线将其断开的断开装置及断开方法。本发明的断开方法包含步骤(a)(b)(c)。步骤(a)是沿着划线(12a)将导杆(2)载置在基板(W)上。步骤(b)是在步骤(a)之后对导杆(2)赋予朝向基板(W)的冲击。步骤(c)是在步骤(b)之后,在使以划线(12a)作为交界的基板(W)的一区域从支撑部件(30)突出的状态下,从上方按压该一区域而进行断开。 | ||
搜索关键词: | 断开 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种断开方法,将使第1基板与第2基板贴合而成的基板沿着第1划线及第2划线断开,所述第1划线形成在所述第1基板的表面,所述第2划线形成在所述第2基板的表面上的在俯视时与所述第1划线相同的位置;且所述断开方法包含如下步骤:(a)将导杆载置在所述第1划线上;(b)在所述步骤(a)之后,对所述导杆赋予朝向所述第1基板的冲击而将所述第2基板沿着所述第2划线断开;以及(c)在所述步骤(b)之后,当将以所述第1划线及第2划线作为交界的所述基板的一区域设为第一区域、将另一区域设为第二区域时,使所述第一区域的一部分或全部由支撑部件支撑并且使所述第二区域的全部从所述支撑部件的一端突出,在该状态下,从上方按压所述第二区域而将所述第1基板沿着所述第1划线断开。
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